上海扫描电镜样品制备技术规范

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扫描电镜(SEM)是一种广泛用于的材料表征和分析技术。样品制备是SEM技术中至关重要的环节,直接影响到样品的质量和分析结果的准确性。因此,为了保证SEM技术的准确性和可靠性,必须对样品制备过程进行规范和控制。

一、样品前处理

1. 样品准备

在样品制备前,必须对样品进行准备。一般来说,样品应该是干净的、无腐蚀性的,并且应该去除任何可能影响分析的杂质。对于金属样品,应该使用砂纸或其他工具将其表面打磨光滑,以避免表面氧化物等杂质的存在。对于非金属样品,应该使用盐酸或氢氟酸进行打磨,以去除表面的氧化物或其他杂质。

2. 样品固定

在将样品放入SEM之前,必须将其固定在样品台上。固定过程可以使用夹具或真空吸附器等设备进行。在固定过程中,应该注意样品的定位和压力,以确保样品不会移动或变形。

3. 样品干燥

在将样品放入SEM之前,必须将其干燥。干燥过程可以使用真空干燥箱或自然风干等设备进行。在干燥过程中,应该控制样品的温度和时间,以避免样品过度干燥或烧结。

二、样品制备方法

1. 薄膜沉积

薄膜沉积是将金属或非金属样品沉积在真空衬底上的一种方法。这种方法可以用于制备各种类型的样品,如金属薄膜、碳薄膜等。

2. 磁控溅射

磁控溅射(MCP)是一种用于制备样品的表面分析技术。该技术可以通过将样品放置在真空蒸发炉中,将其中的原子蒸发出来,并在SEM中进行分析。

3. 激光熔融

激光熔融(LML)是一种用于制备样品的表面分析技术。该技术可以通过将样品置于激光束中,将其熔化,并在SEM中进行分析。

三、样品制备要求

1. 样品制备环境

样品制备环境应该保持在干净、无腐蚀性、恒温、恒湿、高真空等条件下。

2. 样品制备时间

样品制备时间应该控制在15-30分钟内,以确保样品不会发生变化。

3. 样品制备设备

样品制备设备应该定期进行清洗和校准,以确保其精度和可靠性。

四、结论

扫描电镜样品制备技术规范是确保SEM技术准确性和可靠性的重要因素。必须遵守严格的样品制备程序,包括样品前处理、样品固定、样品干燥和样品制备方法等,以确保样品的质量和分析结果的准确性。

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